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愛德華二手泵IH1000 MK5真空泵銷售維修

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簡單介紹

Edwards 上等半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明,可以按照*高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時*大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。


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