進(jìn)口真空泵,旋片式真空泵維修技術(shù)精華篇
進(jìn)口真空泵,旋片式真空泵等真空泵維修的技術(shù)我們前面也介紹過很多，這里我們重點(diǎn)介紹真空鍍膜設(shè)備的檢修技術(shù)。真空鍍膜設(shè)備故障的判斷是進(jìn)口真空泵,旋片式真空泵,真空泵維修,機(jī)械真空泵維修中的重要環(huán)節(jié)。一個(gè)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)豐富的檢修者,常常可以在短時(shí)間內(nèi)找出復(fù)雜設(shè)備的故障所在,因而收到事半功倍的效果。要做到這點(diǎn),真空泵維修人員除要掌握必要的真空知識(shí)外,還要熟悉各種設(shè)備的結(jié)構(gòu)、特點(diǎn),工作中還要勤于思考,善于總結(jié)才行。
真空泵出了故障從何下手,就我們的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)為三句話`先低后高、先動(dòng)后靜、先易后難”。即先從低真空查到高真空,先查經(jīng)常轉(zhuǎn)動(dòng)的部件,后查不常動(dòng)的部件,先檢容易的查,后檢難的查。遵循此原則,在檢修中就能收到快、好、省的效果。
真空泵故障的判斷與排除
1.大漏
機(jī)械真空泵開啟后,長(zhǎng)時(shí)間仍有排大氣砰!砰!的響聲,并伴隨有大量的油霧,說明設(shè)備有大漏。這種故障,我們?cè)O(shè)備上的經(jīng)驗(yàn)是常由于機(jī)械真空泵缺油和電磁閥漏氣引起。判斷電磁閥故障可用手指模一下電磁閥放氣嘴吸不吸手,發(fā)現(xiàn)吸手,說明電磁閥沒吸合,或放氣口沒堵嚴(yán),檢查保險(xiǎn)絲和二極,管無(wú)問題時(shí)旋下放氣嘴,檢查“O”形圈與壁接觸是否太松,松時(shí)可以涂點(diǎn)耐溫的7501硅脂。
一些老式蒸發(fā)臺(tái)主閥的開閉是用橡皮碗的伸縮來(lái)動(dòng)作,時(shí)間長(zhǎng)了,橡皮老化,會(huì)有裂紋。因?yàn)樵谂_(tái)面下檢查困難,停泵又聽不到進(jìn)氣聲,可用火焰探測(cè)法試。方法在玻璃棒上綁一棉球,蘸點(diǎn)酒精、點(diǎn)上火靠近疑點(diǎn)。如有大漏?；鹈缥M(jìn)。對(duì)有些間隙可以用停泵聽氣流來(lái)判斷,如鐘罩沒壓好,轉(zhuǎn)動(dòng)桿太松,真空規(guī)管芯柱炸了等。
2.低真空抽不上
指機(jī)械真空泵只能抽到10帕,熱偶計(jì)指針指在20分格再也上不去。盡管目前擴(kuò)散泵的性能有了很大改進(jìn),前置*大反壓強(qiáng)可以達(dá)到40帕。如果上述大小的漏孔正好處在機(jī)械真空泵與擴(kuò)散泵排氣口之間,擴(kuò)散泵雖然還能工作,但畢竟不太可靠,而且油也易氧化裂解。如漏孔不在上述部位,高真空就上不去,所以還要深入查找原因。
a.檢查鐘罩與可動(dòng)電極
先查鐘罩放好沒有,是否壓在原位,橡皮密封處有無(wú)臟物,鐘罩觀察窗有無(wú)炸裂。若低真空上不去是發(fā)生在更換密封橡皮后,此時(shí)就要檢查橡皮圈入槽后是否服貼,有無(wú)凸凹部位,接著檢查電極是否上下串動(dòng),進(jìn)一步判斷可把上下兩個(gè)旁通閥關(guān)閉,看前置真空能否抽上。抽上了說明前置沒有問題。上不去估計(jì)是下面原因。
b.上、下旁通閥桿軸密封不好
為了使管路緊湊,增大流異,新設(shè)計(jì)的鍍膜機(jī)都配置蝶閥。要得到好的真空度,蝶閥在安裝時(shí),將閥的軸封置于前置真空,即閥門關(guān)閉時(shí),閥的軸封處于低真空端。判斷軸封密封好壞只要來(lái)l可擰動(dòng)閥門手柄,觀察熱偶真空計(jì)指針是否有變化即可(注意擰動(dòng)手柄時(shí)不要把閥門關(guān)死。當(dāng)擰動(dòng)上旁通閥時(shí)指針有變化,說明問題就出在此閥上。主閥的閥桿軸的密封好壞也可用這種方法檢查。確定了某閥軸封漏氣后,只要用搬手把壓緊螺母旋緊即可。若不行就要拆下,更換新的密封圈。
c.閥門都好,真空度還上不去,就要仔細(xì)觀察真空設(shè)備其它有無(wú)毛病。比如玻璃有無(wú)炸裂(特別要注意芯柱處),熱偶計(jì)引線接觸是否良好,確認(rèn)都無(wú)問題時(shí),在機(jī)械真空泵本身原因,*好是把機(jī)械真空泵從設(shè)備上拉出來(lái),單獨(dú)用真空橡皮管和熱偶計(jì)測(cè)量機(jī)械真空泵的極限真空,通常機(jī)械真空泵單抽都能達(dá)到1帕左右,達(dá)不到此值機(jī)械真空泵就有毛病。常見的是油臟,排除方法是把油放盡。打開機(jī)械真空泵上蓋,用紗布蘸去臟油,必要時(shí)用綢布蘸少許汽油擦干凈,用電吹風(fēng)機(jī)吹干,灌進(jìn)一點(diǎn)新油,開機(jī)械真空泵幾分鐘,把油放掉,這樣反復(fù)兩次即可。與此同時(shí),可以旋下進(jìn)氣管觀察橡皮密封圈及出氣口處橡皮壓塊是否有損壞,通常它們也是造成低真空上不去的原因。
d.拆洗機(jī)械真空泵
機(jī)械真空泵非到萬(wàn)不得已時(shí)才拆,如鐵屑、砂子、碎玻璃等落入泵中或長(zhǎng)期不用而銹蝕,泵太臟或卡死就要拆泵。先打開兩面端蓋,取出轉(zhuǎn)子及滑片,用廢汽油先洗一下,觀察哪里有傷痕或被咬啃的標(biāo)記,用細(xì)油石或400號(hào)金相砂紙磨去凸起的金屬或毛刺。如果端蓋被轉(zhuǎn)子磨出明顯的傷痕和溝槽,可上平面磨床磨平,消除毛病后用汽油洗凈、烘干。裝配時(shí)在滑片、轉(zhuǎn)子、定子間涂一些新的機(jī)械真空泵油。緊固端蓋的螺絲很有講究。要達(dá)到手轉(zhuǎn)動(dòng)皮帶輪時(shí)不太松,又不太緊,運(yùn)轉(zhuǎn)自如,用手掌壓在進(jìn)氣口處,有大的吸勁表明裝配正確。注入規(guī)定的油量就可試抽。
3.高真空抽不上
一般的真空蒸發(fā)設(shè)備,在正常狀態(tài)下能達(dá)到3×10-3帕。時(shí)間抽長(zhǎng)點(diǎn),鐘翠內(nèi)部等支架比較干凈時(shí),能抽到7×10-4帕左右。如果系統(tǒng)長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)入不了10-3帕,說明高真空部分有毛病。生產(chǎn)上遇到的原因有以下幾種:
a.上旁通閥門密封圈松或損壞
蒸發(fā)設(shè)備幾個(gè)閥門中,此閥的故障率是*多的。這不是因?yàn)樗拈_閉次數(shù)。主要原因是抽大氣時(shí),大量氣體先經(jīng)過它,故鐘罩中蒸發(fā)時(shí)殘留下的微粒,如金屬、介質(zhì)皮屑常被氣流吸卷著穿過此閥.其中一部分會(huì)粘到蝶閥的橡皮密封面處(通常裝閥時(shí)在密封面處涂上一層真空脂,故更易粘附)造成閥門關(guān)閉不嚴(yán)。從而使高壓強(qiáng)一端(低真空管路中)的氣流通過此閥漏入高真空區(qū),造成高真空抽不上。判斷此閥故障比較簡(jiǎn)單,轉(zhuǎn)動(dòng)閥門手柄。如閥門關(guān)不到原位或到位很松(正常狀態(tài)時(shí)閥門快關(guān)到位時(shí)有鎖緊的手感),估計(jì)毛病在此。進(jìn)一步證實(shí),可以用鐘罩放氣來(lái)驗(yàn)證,方法是把主閥和上下旁通閥都關(guān)閉,鐘罩放大氣,機(jī)械真空泵如有抽大氣的響聲即可證明。
修復(fù)的方法是拆下閥門,發(fā)現(xiàn)壞損的密封圈就要更換。如沒損壞只是碎屑粘上,可用綢布蘸上酒精擦掉。對(duì)松的密封圈可在閥蓋和閥桿中間墊金屬片(約0.2毫米~0.6毫米),具體墊多厚為宜,全憑搬動(dòng)手柄人手的感覺,松緊要適中。
b.擴(kuò)散泵中的問題
通常機(jī)械真空泵抽到1。帕,加熱擴(kuò)散泵一小時(shí)左右,真空度就能進(jìn)入4×10-3帕。若長(zhǎng)期停在10-2帕,說明擴(kuò)散泵以上部位有問題。是擴(kuò)散泵本身問題,還是鐘罩上部的問題,可以關(guān)閉主閥判斷。方法是關(guān)閉主閥,記錄壓強(qiáng)隨時(shí)間的變化數(shù)值,劃出曲線。類似圖1所示曲線,a為關(guān)閉主閥時(shí)的壓強(qiáng),如劃出的曲線象a、b、c那樣就可以判定系統(tǒng)有漏氣,問題出在主閥門上端。劃出曲線與abc相似,表明真空度上不去是擴(kuò)散泵的問題。
真空泵維修,機(jī)械真空泵維修
擴(kuò)散泵抽不上去多數(shù)為泵油被污染。當(dāng)機(jī)械真空泵油進(jìn)入擴(kuò)散泵中后,*高真空度只能達(dá)到10-1帕。冷帽循環(huán)水管滲水,電子束蒸發(fā)臺(tái)電子槍水套滲水也會(huì)使真空度進(jìn)不了10-3帕。此外,還有泵油嚴(yán)重氧化,也影響真空度,如果拆泵的決心還不大,還要做深入的判斷,可用液氮來(lái)試,方法是用一把長(zhǎng)鑷子夾一塊棉花在液氮中浸一下馬上拿出,放在電離計(jì)的玻殼上輕輕擦。其部位見圖2所示。擦?xí)r注意,不要把大量的液氮滴到點(diǎn)燃的電離泡上。以免玻璃炸裂。如果真空計(jì)指針很快打到好的10-3帕或進(jìn)入10-4帕。說明油泵本身不漏氣。抽氣也正常。系統(tǒng)也無(wú)明顯漏氣。上不去的原因就是高蒸汽壓的成份太多。我們用這種方法,先后發(fā)現(xiàn)了擴(kuò)散泵冷帽水管有微漏。電子束蒸發(fā)合水套有漏水,補(bǔ)散泵油被機(jī)械真空泵油污染,擴(kuò)散泵油嚴(yán)重氧化等故障。
擴(kuò)散泵中缺油時(shí),真空度會(huì)出現(xiàn)周期性的上升(升到10-2帕~10-3帕),下降(低于10-1帕)。用起子把柄敲擊泵殼可以改變起伏的周期。眾所周知,在立式擴(kuò)散泵中,油鍋內(nèi)用幾個(gè)直徑不同的圓柱管分開各級(jí)噴嘴,而用分餾孔來(lái)溝通油路,并起到分餾的目的。分餾孔常開成長(zhǎng)方形或打成圓孔,離底部高度約8~16毫米(指口徑100~200毫米的擴(kuò)散泵)。正常狀態(tài)油量的高度約20毫米,以保證油在工作時(shí)已被抽到低真空端(高壓強(qiáng))的氣體不至于通過這些孔而反竄回來(lái)。當(dāng)泵的加熱功率偏高,長(zhǎng)時(shí)間沒有換油,當(dāng)初加油量就偏少等都會(huì)造成泵中缺油壓強(qiáng)起伏。起伏的原因是由于擴(kuò)散泵中存在油爆沸現(xiàn)象引起的。當(dāng)油量少到某一值時(shí),因爆沸油沖上去,此時(shí)油鍋中的油面封不住分餾孔,氣流從外側(cè)高壓強(qiáng)端通過孔竄入內(nèi)側(cè)低壓區(qū)破壞了真空度。在爆沸的油流回鍋底時(shí),液面士升,封住小孔,真空度又上升。只要觀察玻璃泵中油的工作狀態(tài)就不難分析出上述現(xiàn)象是由于泵中缺油造成的。所以經(jīng)驗(yàn)的積累,是靠平時(shí)長(zhǎng)期地細(xì)致地觀察,加以綜合分析一點(diǎn)一滴得來(lái)的。
c.真空鐘罩上部有10帕~10-2帕·升/秒量級(jí)的漏孔存在
在高真空部位存有10帕~10-2帕·升/秒的漏孔就會(huì)使高真空上不去。這就要仔細(xì)查找。先用火花探漏儀檢查電離計(jì)熱偶計(jì)封接處有無(wú)漏孔,或玻璃炸裂。對(duì)有些玻璃裂紋,火花探漏儀是查不出的,要用肉眼仔細(xì)觀察,也可用棉花蘸酒精涂在可疑處,若有漏孔真空度下降。對(duì)鐘罩下方一組電極若有懷疑。可用注射針管吸上酒精往疑點(diǎn)噴射,小漏孔會(huì)因酒精暫時(shí)封往漏孔而使真空度上升,大漏孔會(huì)因酒精進(jìn)入而使真空度下降。此法能幫助我們找到許多不易覺察到的漏孔。
EBARA A10S真空泵維修：http://m.zengwuwang.com/enstyle/product_12291249.html
里其樂 托馬斯 VTE8真空泵維修：http://m.zengwuwang.com/enstyle/product_12341401.html
愛德華IQDP80-QMB1200真空泵維修：http://m.zengwuwang.com/enstyle/product_12354029.html
